该系列设备为钙钛矿太阳能电池、OLED、锂电池、量子点LED、OPV等产业研发专用设备，设备可工艺制备纳米级氧化物、氮化物、金属等薄膜材料。
规格
| 项目 | 参数 | 项目 | 参数 |
| 衬底尺寸 | 108.5mm × 108.5mm | 衬底厚度 | 450～850μm |
| 合物薄膜尺寸 | 121.5mm × 121.5mm | 合物薄膜厚度 | 20～127μm |
| Frame尺寸 | 125mm × 125mm | Frame厚度 | 0.8mm |
| 设备产能 | 800pcs/H；≤4.5S | 碎片率 | ＜0.01% |
| after装载时间 | ＜4.5S | 平均故障间隔时间 | ≥360小时 |